气动量仪是在19世纪20年代末出现的。在西方，1928年，法国人梅纳逊（Menneson）在比利时王国申请了气动量仪。而苏联则声称在1926年之前已经开始采用气动测量方法了。早的气动量仪是低压水柱式的，它被用于汽车零件的检测，如气缸体的孔径和喷油嘴的测量。以后逐渐在德国、法国得到了普遍的应用。
美国早也使用低压水柱式气动量仪，鉴于这种量仪在使用上有种种缺点，于是进行了中、高压气动量仪的研究。随着高性能的中高压空气稳压器的出现，终于从1940年前后开始进行高压量仪的实用研究和开发，随后作为生产现场用量仪在美国得到了推广和普及。从此在美国，除了实验室之外，低压水柱量仪基本上不再被应用了。特别是在1941年Sheffidld公司发展作出了很大的贡献。在多参数测量中，大多采用这种气动量仪。
随后，Federal公司研制成差压式指针型气动量仪。这种量仪具有发讯号电接点，可以用于自动测量。
在各种比较测量仪器中，气动量仪的历史要算短。40年代美国发明了浮标量仪，50年代日本向美国购买了，60年代日本又向中国转让了该项技术，“浮标量仪”至今仍然畅销各国，因为它在下列四个方面表现出良好而又的效果：
·有高精度要求的内径、外径；
·大批量生产的零件；
·在质量管理中被特别重视的零件；
·同时对多个尺寸，进行多参数同时的测量。
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